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什么是光学模板?

光学掩模板在薄膜、塑料或玻璃基体材料上制作各种功能图形并精确定位,以便用于光致抗蚀剂涂层选择性曝光的一种结构。

掩膜版应用十分广泛,在涉及光刻工艺的领域都需要使用掩膜版,如IC(Integrated Circuit,集成电路)、FPD(Flat Panel Display,平板显示器)、PCB(Printed Circuit Boards,印刷电路板)、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems,微机电系统)等

匿名回答于2021-07-09 01:38:48


光学模板是人造熔融石英材质的光学平板之一,被用作平面元件的平面度测量时的标准平面。也被称为牛顿样板,日系企业也称为原器。

把被测件放在光学模板上就会出现牛顿环,根据牛顿环的数量和形状,检验和测量被测件的面精度。

牛顿环是两个表面间的间隙引起的干涉条纹。一个间隔相当于测量波长的一半。(牛顿环法)

每个光学模板都被放置在一个保护木合内,并附有实测的干涉条纹照片和表面形状数据。

匿名回答于2021-07-10 04:21:22


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