表面扩散是指原子、离子、分子以及原子团在固体表面沿表面方向的运动。当固体表面存在化学势梯度场，扩散物质的浓度变化或样品表面的形貌变化时，就会发生表面扩散。我们知道，表面区约为单位面间距（一般为2×10-8cm）。所以表面扩散主要发生在距表面2～3层原子面的范围。表面扩散不仅依赖于外界环境（温度、气压、湿度、气氛等），还受到晶面取向、表面化学成分电子结构及表面势等因素的影响，因此情况比较复杂。
体扩散又称点阵扩散。是指通过原子在点阵内（不是沿晶界、表面或其他缺陷区）的热运动引起的扩散。亦称为“晶格扩散”或“晶内扩散”，指原子在晶体内部的扩散过程。晶内扩散的主要机制是空位扩散。
匿名回答于2021-08-12 04:46:45
