检测平整度用的是空气劈尖干涉原理,当光垂直入射时,在工件的上表面和玻璃板的下表面反射的光相干涉,当光波的光程差为波长的整数倍时,形成明条纹,为半波长的奇数倍时,形成暗条纹.而光程差取决于空气层的厚度,具有稳定的光程差,所以条纹间距相等.衍射条件sinθ＝kλ,由于θ不一样,所以射条纹间距不等。
匿名回答于2022-02-28 22:08:38
