（1）STEM技术要求较高，要非常高的真空度，并且电子学系统比TEM和SEM都要复杂。
（2）加速电压低，可显著减少电子束对样品的损伤，而且可大大提高图像的衬度，特别适合于有机高分子、生物等软材料样品的透射分析。
（3）可以观察较厚的试样和低衬度的试样。
（4）扫描透射模式时物镜的强激励，可以实现微区衍射。
（5）应用扫描电镜的STEM模式观察生物样品时，样品无需染色直接观察即可获得较 高衬度的图像。
匿名回答于2019-09-08 06:23:02
