匿名回答于2021-02-16 19:57:57
一般认为在理想的情况下,扫描电镜的分辨率不可能小于扫描电子束斑直径,故束斑直径越小,电镜的分辨本领越高。束斑直径主要取决于电子光学系统(电子枪等)设备。入射电子束束斑直径： 为扫描电镜分辨本领的极限。一般，热阴极电子枪的最小束斑直径可缩小到6nm，场发射电子枪可使束斑直径小于3nm。
匿名回答于2022-01-16 07:59:47
