清洗设备：去除晶圆表面的残余物、污染物等；
湿法刻蚀设备：通过化学刻蚀液和被刻蚀物质之间的化学反应将被刻蚀物质剥离下来。所用材料：电镀液、清洗液、刻蚀液等。
匿名回答于2022-08-22 23:31:07
