单晶炉：晶盛机电
光刻机：芯碁微装
刻蚀机：中微公司、北方华创、神工股份
离子注入：万业企业
CVD/PVD：北方华创
氧化扩散：北方华创
涂胶显影：芯源微
键合机：奥特维
划片机：奥特维
检测：精测电子、长川科技、华兴源创、赛腾股份等。
匿名回答于2022-08-09 09:41:49
