匿名回答于2021-01-30 16:35:39
当前该公司最先进的光刻机产品是600系列光刻机。SSX600系列光刻机最高能够实现90nm工艺制程,荷兰的ASML的高端光刻机已经能够实现5nm工艺制程,两者之间的差距相当巨大。
光刻机,又名掩模对准曝光机、曝光系统、光刻系统等,是制造微机电、光电、二极体大规模集成电路的关键设备。
匿名回答于2022-01-14 07:21:28