溅射过程所用设备的区别就是电源的区别。其它都一样，就是所用电源不一样。直流运用直流电源，射频运用交流电源（射频属于交流范畴，频率是13.56MHz
匿名回答于2023-09-14 21:24:02
直流就是电压（电流）永远在“正”象限内，交流是“正”“负”交替，所以交流都是有一定的频率的，例如工频、高频，那么射频就是非常非常高的频率。
————我尽量用非专业的词汇来讲了，希望你能听懂。
交流电的电流大小和方向会随时间作周期性变化，通常波形为正弦曲线，而直流电没有周期性变化。
匿名回答于2023-09-04 06:53:51
