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为什么光刻加工工艺要使用光刻胶?
光刻胶相当于照相机的胶卷,没有光刻胶图形无法复制到衬底上。也就无从谈制作任何电路了。光刻胶分为正和负光刻胶,见光后溶于显影剂的是正光刻胶,反之见光不溶为负。光刻工艺是:wafer-粘结-光刻胶-烘干-曝光-烘焙-显影-烘干-检测显而易见,所有的工艺都是围绕光刻胶成图案而做的。
匿名回答于2023-09-17 19:19:30
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