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化学增幅型光刻胶是什么？

新型的化学增幅型负像 SU- 8 胶是一种负性、环氧树脂型、近紫外线光刻胶，克服了普通光刻胶采用 UV光刻导致的深宽比不足的问题，十分适合于制备高深宽比微结构

匿名回答于2023-09-17 19:22:58

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