az1500光刻胶工艺参数？

az1500光刻胶的工艺参数包括曝光时间、曝光能量、显影时间和显影液浓度等。
其中，曝光时间和曝光能量需要根据具体的曝光设备和光刻胶厚度来确定，一般需要进行实验优化；显影时间和显影液浓度则需要根据样品的要求和光刻胶的特性来选择。
在进行的选择时，需要综合考虑样品的要求、设备的性能和光刻胶的特性，进行实验优化以得到最佳的工艺参数。

匿名回答于2023-10-09 01:08:13

关于这个问题，以下是az1500光刻胶的一些常用工艺参数：

1. 光刻胶厚度：通常为0.5-2μm。

2. 烘烤温度和时间：在烘烤前应首先进行预热，常见预热温度为90℃，时间为5-10分钟。然后进行主烘烤，常见温度为115-120℃，时间为30-60秒。

3. 硬化剂比例：常用的硬化剂为MEHQ（甲醛己醇），通常添加量为1-2%。

4. 紫外光曝光时间和能量：曝光时间和能量与光刻胶的厚度和型号有关，一般需要根据实际情况进行调整。常见的紫外光曝光能量为100-200mJ/cm²，曝光时间为5-30秒。

5. 显影液：常用的显影液为1:4的2-丙酮和异丙醇混合物。显影时间一般为30秒至1分钟，根据光刻胶厚度和型号进行调整。

6. 清洗：清洗时通常使用去离子水或甲醇进行清洗。

匿名回答于2023-10-06 12:57:09