光刻胶正胶和反胶的区别？

光刻胶正胶是颗粒向上，反胶是颗粒先里。导致其性能不同。

匿名回答于2021-03-03 19:53:56

正胶受光或紫外线照射后感光的部分发生光分解反应，可溶于显影液，未感光的部分显影后仍然留在晶圆的表面，它一般适合做长条形状，

反胶的未感光部分溶于显影液中，而感光部分显影后仍然留在基片表面，它一般适合做窗口结构，如接触孔、焊盘等。

匿名回答于2022-05-04 02:19:37