我们知道在常压下，气体分子运动速率快于化学反应速率，成膜时反应不完全形成孔洞，影响成膜质量。
通过真空泵将炉腔内抽成低压，而低压使得在适当温度下，分子的运动速率慢于化学反应速率，提高了成膜质量。
匿名回答于2024-05-10 04:59:04
