采用不同的掺杂工艺,通过扩散作用,将P型半导体与N型半导体制作在同一块半导体硅片上。半导体中的扩散属于三种输送现象(质量传输、热传递和动量传输)中的质量传输,需要在850℃以上的高温环境下,效应才够明显;而据贺利氏披露,卧式炉的扩散、氧化和退火工序需要在高温环境下(>1150℃)也能保持温度稳定性能的特种石英材料。
匿名回答于2024-05-18 11:42:53