光刻的正常曝光有哪些现象？

光刻就是在需要刻蚀的表面涂抹光刻胶，干燥后把mask覆盖其上，有紫外光源照射，受光部分即可凝固，用药水洗掉未凝固胶膜。没有胶膜保护的部分即可用浓酸浓碱腐蚀表面，腐蚀好以后再洗掉其余的光刻胶，就得到细微的光刻线条。实际情况远比叙述的复杂，为了能够理解简单说说是这样。

曝光方式：接触式曝光、接近式曝光、投影式曝光

匿名回答于2023-09-17 19:15:56