后烘增加胶的连着力以及除去多余的残留溶剂 后烘使得不含光敏反应化合物的光刻胶形成交联聚合物 稳定光刻胶。
曝光不论是电子束曝光还是深紫外线曝光 都是利用光源与光刻胶进行反应。
匿名回答于2023-09-17 19:21:41
