4nm光刻技术叫什么？

4nm光刻技术被称为极紫外光刻（EUV）技术。EUV技术是一种先进的半导体制造技术，使用波长为13.5纳米的极紫外光源进行曝光。相比传统的193纳米光刻技术，EUV技术具有更高的分辨率和更好的精度，能够实现更小尺寸的芯片制造。EUV技术的应用将推动半导体行业向更高集成度和更高性能的芯片发展，为人工智能、物联网等领域的发展提供强大的支持。

匿名回答于2023-09-17 19:15:07